石英製品
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ノーランドUV硬化型
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樹脂製品
主に、PFA、PTFEを使用し、ウェハキャリア洗浄槽等に適しており、耐酸性に優れております。
ゴムOリング PF
パーフロロゴムは、炭素、ふっ素、酸素の原子のみから構成されているパーフロロエラストマーです。このためふっ素ゴムの中でもより不活性な性質を持ち、薬品、溶剤に対して高度の耐性を示します。従来のふっ素ゴムでは使用が困難であったケトン、エステル、アミン、アルデヒド類、アンモニア、有機酸などの薬品にも十分使用できます。 尚、黒色と白色の2種類のパーフロロゴムが用意されております。黒色のパーフロロゴムは主に汎用として使用され、白色のパーフロロゴムは半導体ドライプロセス用途に使用されます。
ふっ素樹脂製切削加工品
素材から切削加工した角槽スノコ、バブリングプレート、フィルターケース、ウエハーキャリア、キャリアケースなどあらゆる形状のものが製作できる。
ふっ素樹脂製角槽
ナフロンPTFE製角槽には、液圧成形法で製作する継目無しの「一体成形角槽(T/#9500-M)」と、7〜25mmのシートを溶接加工する「溶接タイプ角槽(T/#9500-H)」があります。いずれも底の流れ勾配、ドレン穴等は任意な製作が可能ですが、特に溶接タイプは型を必要としないので用途に合わせた形状に製作できます。
☆ご要望により各種寸法にて製作承ります。
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