石英を通して半導体をサポートする株式会社石本商會



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製品紹介-石英製品・セラミック製品・樹脂製品・その他
石英ガラス製品、ガラス加工製品
透明石英ガラスは半導体,純金属,純粋薬剤等の製造,処理装置として広く利用されています。又、紫外域透過性がよく化学的に非常に安定しております。更に加工性に優れており各種の加工品も製作出来ます。
・酸水素炎熔融石英ガラス
(以下酸水素熔融品と称する)
・酸水素炎熔融石英ガラス
 低アルカリ品
(以下酸水素熔融低アルカリ品
と称する)
・電気熔融石英ガラス
(以下電気熔融品と称する)
・電気熔融石英ガラス低アルカリ品
(以下電気熔融低アルカリ品と称する)
有水合成
軟化点 (1,720℃) (1,720℃) (1,720℃)
除冷点 1,180℃ 1,220℃ 1,080℃
歪点 1,070℃ 1,120℃ 970℃
(  )内 内挿値
膨張係数
5×10-7
紫外線透過率
94%以上
急熱急冷抵抗
1,250℃
品 種
管、棒、理化学容器類、ボート、角型管
☆ご要望により各種寸法にて製作承ります。

石英ガラスの形状
(代表的な石英ガラス素材)
品種 用途 形状 製造範囲
(max. mm)
特長
酸水素溶融品 半導体用
理化学用
P600×3000L
R50×1000L
1000×200t
850□×300t
酸水素炎で溶融した気泡の少ない工業用石英ガラス。
酸水素溶融低アルカリ品 半導体用
理化学用
P600×3000L
R50×1000L
1000×200t
850□×300t
特に精製した高純度原料を使用して、酸水素炎で溶融した高純度の気泡の少ない工業用の石英ガラス。
電気溶融品 半導体用 P600×3000L
R30×1000L
500×300t
600□×300t
電気溶融した耐熱特性の優れた汎用、工業用の無水石英ガラスで、多少気泡がある。
電気溶融低アルカリ品 半導体用 P600×3000L
R30×1000L
500×300t
600□×300t
特に純度の高い電気溶融タイプの石英ガラス。
高純度不透明石英ガラス 半導体用 700×250t
600□×150t
酸水素炎で溶融した微細で且つ均一な気泡を有する 熱遮断性に優れた不透明石英ガラス。
無水合成 半導体用
光学用
P600×1000L
R20×1000L
600×50t
500□×50t
超高純度で耐熱性に優れ、高均質性で光透過性に優れた 合成石英ガラス。
有水合成 半導体用
光学用
理化学用
P600×3000L
R20×1000L
500×300t
1000□×50t
高純度、高品質で特に紫外透過率の優れた合成石英ガラス。

石英ガラスの純度
透明石英ガラスは、純度の高い無水ケイ酸を高温度で溶融した単一成分のガラスで、不純物の含有量は微量であることが特長です。微細化の進んだ超LSIの製造工程の中では、アルカリなど不純物の極めて少ない石英ガラスが必要とされます。半導体技術の進歩に伴い、当社では有水高純度品(酸水素溶融低アルカリ品グレード)及びOH基含有量が非常に少ない耐高温用無水高純度品(電気溶融低アルカリ品グレード)等、よりハイグレードの製品を提供しております。

●高純度石英ガラス準合成石英ガラス材

1.純度は、合成石英ガラス並
2.粘度は、酸水素溶融品同等
3.透過率は、低波長まで高透過性を示す
4.254nm光、365nm光照射時、蛍光無し

※準合成とは、合成石英粉を溶融した溶融石英ガラスの事です

各種透明石英ガラスの化学分析例
Al
Ca
Cu
Fe
Na
K
Li
Mg
OH
酸水素溶融品
9 0.6 0.01 0.1 0.6 0.1 0.01 0.04
200
酸水素溶融低
アルカリ品
8 0.5 0.01 0.05 0.1 0.02 0.01 0.02 200
準合成石英ガラス
0.7 <0.01 <0.01 <0.05 0.1 <0.01 <0.01 <0.01 160
低OH品
0.04 <0.01 <0.01 0.08 0.02 <0.01 <0.01 <0.01 50
不透明
9 0.8 0.01 0.2 0.2 0.47 0.06 0.04 160
高純度不透明石英ガラス
8 0.5 0.01 0.05 0.06 0.02 0.01 0.02 160
電気溶融品
15 0.6 0.02 0.2 0.8 0.6 0.5 0.1 10
電気溶融低アルカリ品
15 0.6 0.01 0.2 0.2 0.6 0.2 0.1 10
有水合成
0.1 0.1 0.01 0.05 0.05 0.05 <0.01 <0.01 1000
無水合成
<0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <100
(代表分析値 単位: ppm)

透明石英ガラスの化学的特性
透明石英ガラスは、化学的に極めて安定であり、優れた耐薬品性を示します。この特長は、種々の溶剤や酸溶液の蒸留および各種物質の溶解・洗浄容器として、最適です。しかし、フッ酸、リン酸とアルカリ・アルカリ金属化合物の溶液およびそれらの雰囲気では、石英ガラスの浸蝕や表面失透が起こります。



img
透明石英ガラス管・棒類
透明石英ガラス管・棒類は次の標準品を用意しております。管類はいずれも内径と肉厚の寸法(mm)が又、棒類は、外径寸法(mm)が基準となっております。長さは、管・棒ともに1,000mmが、標準です。ご用途に合わせて、サイズをご指定ください。他のサイズもご用意できます。内径又は外径と肉厚及び長さ寸法をご指定ください。
透明石英ガラス・標準管
略号
内径(mm)
肉厚(mm)
略号
内径(mm)
肉厚(mm)
#1
1.5±0.5
0.6±0.2
#56
58.0±1.5
2.5±0.5
#2
2.5±0.5
0.7±0.3
#60
61.5±1.5
3.0±0.5
#3
3.5±0.5
0.7±0.3
#63
64.5±1.5
3.0±0.5
#4
4.5±0.5
0.7±0.3
#66
68.0±1.5
3.0±0.5
#5
5.5±0.5
0.7±0.3
#70
71.5±1.5
3.0±0.5
#6
6.5±0.5
0.8±0.3
#75
77.5±1.5
3.0±0.5
#7
7.5±0.5
0.8±0.3
#80
81.5±1.5
3.0±0.5
#8
8.5±0.5
0.8±0.3
#85
87.5±1.5
3.0±0.5
#9
9.5±0.5
0.8±0.3
#90
92.5±1.5
3.0±0.5
#10
10.5±0.5
12±0.3
#95
97.5±1.5
3.0±0.5
#11
11.5±0.5
12±0.3
#100
102.5±2.5
3.0±0.5
#12
12.5±0.5
12±0.3
#105
107.5±2.5
3.0±0.5
#13
13.5±0.5
12±0.3
#110
115.5±2.5
3.0±0.5
#14
14.5±0.5
1.5±0.4
#120
125.0±5.0
3.0±0.5
#15
15.5±0.5
1.5±0.4
#130
135.0±5.0
3.0±0.5
#16
16.5±0.5
1.5±0.4
#140
145.0±5.0
3.0±0.5
#17
17.5±0.5
1.5±0.4
#150
155.0±5.0
3.0±0.5
#18
18.5±0.5
1.5±0.4
#160
165.0±5.0
3.0±0.5
#19
19.5±0.5
1.5±0.4
#170
175.0±5.0
3.0±0.5
#20
21.0±1.0
1.5±0.4
#180
185.0±5.0
3.0±0.5
#22
23.0±1.0
1.8±0.4
#190
195.0±5.0
3.0±0.5
#24
25.0±1.0
1.8±0.4
#200
205.0±5.0
3.0±0.5
#26
27.0±1.0
1.8±0.4
#210
215.0±5.0
3.0±0.5
#28
29.0±1.0
2.0±0.5
#220
225.0±5.0
3.0±0.5
#30
31.5±1.5
2.0±0.5
#230
235.0±5.0
3.0±0.5
#33
34.5±1.5
2.0±0.5
#240
245.0±5.0
3.0±0.5
#36
38.0±1.5
2.3±0.5
#250
255.0±5.0
3.0±0.5
#40
41.5±1.5
2.3±0.5
#260
265.0±5.0
3.3±0.5
#43
44.5±1.5
2.3±0.5
#270
275.0±5.0
3.3±0.5
#46
48.0±1.5
2.5±0.5
#280
285.0±5.0
3.3±0.5
#50
51.5±1.5
2.5±0.5
#290
295.0±5.0
3.3±0.5
#53
54.5±1.5
2.5±0.5
#300
305.0±5.0
3.3±0.5
標準肉厚管A
標準肉厚管B

標準棒

略号
内径(mm)
肉厚(mm)
略号
内径(mm)
肉厚(mm)
略号
外径(mm)
#1A
1.5±0.5
1.0±0.2
#1B
1.5±0.5
1.5±0.3
φ1
1.5±0.5
#2A
2.5±0.5
1.2±0.2
#2B
2.5±0.5
1.7±0.3
φ2
2.5±0.5
#3A
3.5±0.5
1.2±0.2
#3B
3.5±0.5
1.7±0.3
φ3
3.5±0.5
#4A
4.5±0.5
1.2±0.2
#4B
4.5±0.5
1.7±0.3
φ4
4.5±0.5
#5A
5.5±0.5
1.2±0.2
#5B
5.5±0.5
1.7±0.3
φ5
5.5±0.5
#6A
6.5±0.5
1.3±0.2
#6B
6.5±0.5
1.8±0.3
φ6
6.5±0.5
#7A
7.5±0.5
1.3±0.2
#7B
7.5±0.5
1.8±0.3
φ7
7.5±0.5
#8A
8.5±0.5
1.3±0.2
#8B
8.5±0.5
1.8±0.3
φ8
8.5±0.5
#9A
9.5±0.5
1.3±0.2
#9B
9.5±0.5
1.8±0.3
φ9
9.5±0.5
#10A
10.5±0.5
1.7±0.2
#10B
10.5±0.5
2.3±0.4
φ10
10.5±0.5
#11A
11.5±0.5
1.7±0.2
#11B
11.5±0.5
2.3±0.4
φ11
11.5±0.5
#12A
12.5±0.5
1.7±0.2
#12B
12.5±0.5
2.3±0.4
φ12
12.5±0.5
#13A
13.5±0.5
1.7±0.2
#13B
13.5±0.5
2.3±0.4
φ13
13.5±0.5
#14A
14.5±0.5
2.2±0.4
#14B
14.5±0.5
3.0±0.5
φ14
14.5±0.5
#15A
15.5±0.5
2.2±0.4
#15B
15.5±0.5
3.0±0.5
φ15
15.5±0.5
#16A
16.5±0.5
2.2±0.4
#16B
16.5±0.5
3.0±0.5
φ16
16.5±0.5
#17A
17.5±0.5
2.2±0.4
#17B
17.5±0.5
3.0±0.5
φ17
17.5±0.5
#18A
18.5±0.5
2.2±0.4
#18B
18.5±0.5
3.0±0.5
φ18
18.5±0.5
#19A
19.5±0.5
2.2±0.4
#19B
19.5±0.5
3.0±0.5
φ19
19.5±0.5
#20A
21.0±1.0
2.2±0.4
#20B
21.0±1.0
3.0±0.5
φ20
21.0±1.0



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